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綁定靶材



為了避免脆性金屬、合金、氧化物等易裂材料在使用過程中破裂,燦元可為客戶提供綁定(Bonding)服務,即把靶材綁定在背板上,除了具有保護靶材免于運送或者拿取中的意外破裂,也可確保靶材的冷卻及電接觸良好,并可改善靶材使用時機械強度不足的問題,亦可解決大尺寸面積靶材受限的問題。一般靶材綁定用的背板為金屬銅、金屬鈦、金屬鉬和不銹鋼,背板是在濺射時支撐靶材,以防靶材在濺射中出現開裂等問題,提高靶材的使用率和使用壽命


燦元金屬目前能提供純銦綁定和導電膠綁定,綁定率>95%,達到國際領先水平。
綁定范圍:平面靶、旋轉靶、圓形靶、異形靶。
檢測方法:超聲波探傷檢測(C-SCAN)。


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